“仪器设备处于工业的核心地位，提高仪器设备水平，充分发挥其作用，才能促进半导体等产业发展，并走向世界前沿。”中国科学院院士褚君浩在8月10日举办的第11届（2023年）中国电子专用设备工业协会半导体设备年会暨产业链合作论坛上表示。

半导体设备市场发展势头良好

半导体设备是支撑电子行业发展的基石。近年来，国内多家半导体设备企业在关键领域取得了进展，材料零部件的龙头企业也呈现出快速增长的趋势。

中国电子专用设备工业协会理事长、北方华创董事长赵晋荣表示，10余年来中国半导体设备市场规模持续发展，尤其是近几年，中国本土设备取得了较大进步。

根据中国电子专用设备工业协会的统计，2022年，77家规模以上半导体设备制造商销售收入累计完成593亿元，同比增长53.6%。其中，前10家设备制造商完成销售收入438亿元。

中国电子专用设备工业协会常务副秘书长金存忠表示，2023年1—6月，主要半导体设备进口额在减少，国内企业半导体设备订单在增长。预计2023年年底，本土的半导体设备销售额将增长38%左右。

“为了保障全球产业链供应链的畅通与稳定，发展半导体设备、材料以及零部件至关重要。”华润微电子有限公司执行董事、总裁李虹表示，“中国在全球半导体市场中占据重要地位，也是全球最大的半导体设备市场。在整个半导体设备产业链中，目前中国厂商开始崭露头角，发展势头良好，市场规模逐年增大。”

睿历科学仪器（上海）有限公司总经理兼首席执行官杨峰表示，当前国内半导体设备企业应把握发展机遇，首先在成熟工艺领域，新兴的半导体设备企业有机会成为主力军；其次在高阶制程领域，只要加快研发进度和技术迭代，还是有机会赶上的。”

半导体设备厂商仍面临诸多难题

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼首席执行官尹志尧表示，半导体设备要早于半导体制造3~5年开发新一代产品，虽然我国半导体设备经过不断地努力，已经取得了长足的进步，但外国设备仍占国内设备采购的85%左右。

中国电子专用设备工业协会副秘书长、积塔半导体（上海）有限公司总工程师李晋湘表示，半导体设备的研发和大生产应用是完全不同的，其中良率至关重要，如果没有95%以上的良率，成本就不能降下来。

李晋湘同时指出，我国半导体设备厂商正面临三个挑战：一是缺乏某类设备，不能形成体系化生产流程；二是设备齐全，但特殊工艺要求无法满足；三是设备和工艺虽然完善，但关键工艺不稳定、不可靠。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司总经理王坚也表示，中国半导体设备销售额的成长速度飞快，从2008年的17亿元，增长到了2022年的593亿元。虽然取得不错的成绩，但是与全球市场规模相比还是很小，国内半导体设备厂商仍面临很多难题。

根据SEMI的数据，2022年全球半导体设备的出货额创下1076亿美元的历史新高，中国半导体设备投资额为283亿美元，连续3年成为全球最大的半导体设备市场。