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我国首条大尺寸硅基Micro LED 微显示屏产线贯通

12月6日,我国首条大尺寸硅基Micro LED微显示屏产线在陕西正式贯通,这意味着满足大规模微显示屏出货需求的同时,将有力支撑智能手机、AR/VR、平板电脑等领域的发展。
发布时间:2023-12-11 10:20 来源:电子信息产业网 作者:杨鹏岳

12月6日,我国首条大尺寸硅基Micro LED微显示屏产线在陕西正式贯通,这意味着满足大规模微显示屏出货需求的同时,将有力支撑智能手机、AR/VR、平板电脑等领域的发展。

据悉,该条产线由西安赛富乐斯半导体科技有限公司(以下简称“赛富乐斯”)自主设计,并结合陕西光子产业链领军企业——陕西光电子先导院平台资源,涵盖光刻、镀膜、刻蚀、测量等多个关键环节,总产能达60万颗/月。

目前,OLED、LED、激光显示、Micro-LED等多种新型显示技术竞相发展。其中,Micro LED在亮度、大尺寸、功耗等方面具备优势,有力支撑了电视、显示器、AR/VR、智能手机、笔记本电脑、平板电脑等领域应用。

不过,芯片制备、转移技术良率、成本等问题一直以来都是Micro-LED量产路上的障碍。为了提升Micro LED生产效率、降低生产成本,应用更大尺寸的外延片也是Micro LED成本考量的关键,这也是众多晶圆厂商不断研发更大尺寸Micro LED晶圆的原因之一。

赛富乐斯相关负责人表示,作为全国首条大尺寸硅基Micro LED微显示屏产线,其贯通意味着作为AR眼镜光机的微显示屏成本将有所下降,从而带动眼镜整体成本的降低,将为AR眼镜产品的市场普及提供价格优势。同时,产线贯通也能够满足大规模的微显示屏出货需求,为市场提供稳定的供应。

据了解,通过技术创新,该公司将传统的4英寸蓝宝石基制程升级为8英寸兼容6英寸的硅基制程,增大晶圆的有效使用面积,减少边缘芯片损失,使Micro LED工艺与大尺寸CMOS更好地结合,大幅降低了生产成本。

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